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プロトン・ヘリウム照射によるパワー半導体用Siウエハーの照射欠陥の観察
https://ehime-u.repo.nii.ac.jp/records/1250
https://ehime-u.repo.nii.ac.jp/records/125086d19b46-4d51-4b0a-96a9-924e4b422fd6
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
AA12158096_2006_05-06.pdf (4.4 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||
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| 公開日 | 2012-04-06 | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | プロトン・ヘリウム照射によるパワー半導体用Siウエハーの照射欠陥の観察 | |||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||
| タイトル | Studies on Local Defects in Si wafer Introduced by 3He and Proton Irradiation Used for Power Device | |||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||
| 著者 |
冨吉, 昇一
× 冨吉, 昇一
× 藤家, 久定
× 天野, 聡
× 原田, 那仁
× 白方, 祥
× 西原, 善明
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| 書誌情報 |
ja : 工学ジャーナル = Annual journal of engineering, Ehime University 巻 5, p. 56-64, 発行日 2006-03 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1348-9895 | |||||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA12158096 | |||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||
